洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。 洁净室的发展与现代工业、**技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪,泰州GMP洁净室、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,泰州GMP洁净室,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体,泰州GMP洁净室、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
洁净室概述 洁净室是任何给定的容纳空间,其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数,例如温度,湿度和压力。关键部件是微粒空气(HEPA)过滤器,用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器,在某些需要严格清洁性能的情况下,使用**低颗粒空气(ULPA)过滤器。 选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的培训。他们通过气闸,空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室,他们必须穿着特殊的衣服,以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。 根据房间的分类或功能,人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限,或者与多层兔子套装完全包裹在一起,并配有自给式呼吸器。 洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维,以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能,并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉***。
按气流的流动状态分 (1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(***或亚***)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。 (2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。 (3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形***过滤器,也可以用普通***过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。